Установка для получения деионизованной воды
Деионизованная вода применяется в микроэлектронике при изготовлении печатных плат, полупроводниковых элементов, интегральных микросхем и т.д. Исходная вода содержит значительное количество железа (в т.ч. окисляемого двухвалентного) и некоторое количество марганца. Возможна доработка установки в соответствии с индивидуальными требованиями заказчика. Установка обеспечивает качество деионизованной воды выше требований ОСТ 11.029.003-80 для марки «А» в части содержания взвешенных частиц и растворенных газов, а также размеров взвешенных частиц — частицы размером более 0,02 мкм практически отсутствуют. В установке применена энергосберегающая схема дегазации, утилизирующая энергию потока концентрата обратного осмоса.
Технические характеристики
Наименование | Значение | Размеры установки: |
Узел водоподготовки | 2000х800х1800 мм |
Узел деионизации | 1000х400х14000 мм |
Производительность установки | 50 л/ч |
Резервный объем деионизованной воды | 500 л |
Потребление исходной воды среднее/пиковое | 170/2000 л/ч |
Сброс дренажной воды средний/пиковый | 120/960 л/ч |
Электрическая мощность | 1.7/5.4 кВт |
Питание | 380 В, 50 Гц |
Масса установки | 931 кг | Подготовленная вода отвечает требованиям марки «А» по ОСТ 11.029.003-80* |
Параметры деионизованной воды
Показатели | Ед. измерений | Фактические значение | Марка «А» по ОСТ 11.029.003-80 |
Удельное сопротивление при темп. 18…22°C | МОм·см | не менее 18 | не менее 18 |
Перманганатная окисляемость | мг/л | не более 0,5 | не более 1,0 |
Содержание кремниевой кислоты SiO32- | мг/л | не более 0,01 | не более 0,01 |
Содержание железа | мг/л | не более 0,002 | не более 0,015 |
Содержание меди | мг/л | не более 0,002 | - |
Содержание микроорганизмов | колоний/мл | не более 1 | не более 2 |
Содержание микрочастиц 1…5 мкм | шт./мл | не более 2 | не более 20 |
Общий органический углерод (Т°C) | мг/л | не более 0,5 | - |