Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления
На сегодняшний день наиболее прогрессивным и высокотехнологичным способом нанесения оптических покрытий является ионно-лучевой метод. Неоспоримыми преимуществами данного метода являются высокая адгезия покрытий, ультранизкие потери оптического излучения на рассеяние и поглощение.
Высокая адгезия
Данное преимущество достигается благодаря гораздо более высоким энергиям (от 10 до 20 эВ) осаждения атомов материалов на подложках по сравнению с традиционными методами напыления (электронно-лучевой, резистивный).
Ультранизкие потери оптического излучения на рассеяние и поглощение
Интерференционные покрытия, полученные методом ионно-лучевого распыления, обладают аморфной структурой. Отсутствие кристаллической фазы в пленках исключает Рэлеевское рассеяние на границах кристаллитов.
Для нанесения наших покрытий используются исключительно оксидные материалы. Благодаря качественно оптимизированной технологии напыления оптические покрытия обладают ультранизкими потерями оптического излучения.
Прецизионность
Это важное качество обеспечивается высочайшей стабильностью процесса вместе с использованием широкополосного оптического контроля, что позволяет напылять пленки толщиной менее 10 нм. Неравномерность по толщине слоев на всей площади напыления (диаметром 400 мм) не превышает 1%. Благодаря такой точности обеспечиваются высокие требования к сложным оптическим характеристикам покрытия.
Стабильность оптических параметров
Благодаря высокой плотности упаковки атомов физические характеристики оксидных пленок не меняются со временем. Они устойчивы к воздействию атмосферы, перепадам температур и умеренным механическим воздействиям (мойка, чистка). Это гарантирует высокую стабильность оптических характеристик покрытий, полученных в результате напыления методом ИЛР и их долговременную эксплуатацию в оптических приборах.
Измеренные оптические покрытия
Каталог оптических покрытий представлен всеми основными видами: просветляющие покрытия (включая широкополосные), высокоотражающие зеркала с ультранизкими потерями, поляризаторы (включая с высокой лучевой стойкостью), фильтры, параметрические и светоделительные покрытия.
Точные расчеты оптических характеристик и отлаженные технологии напыления позволяют изготовить продукцию любой сложности по техническому заданию заказчика.
Широкополосное просветление
λ = 600…1050 нм, Ra < 0,7%
Параметрическое покрытие
λ = 780…830 нм, Ta > 99,4%
λ = 1064 нм, Ta = 99,63%
λ = 1380…1450 нм, Ta < 0,05%
Зеркало с ультранизкими потерями
λ = 633 нм, α = 44°
Суммарные потери, ppm: Ls < 15 (при RMS = 0,1 нм), Ls < 30 (при RMS = 0,2 нм)
Поляризатор с высокой лучевой стойкостью
λ = 1064 нм, α = 55°, Tp = 99,776%, Ts = 0,075%
Лучевая прочность > 800 МВт/см2 при длительности импульсов 10 нс и S и P-поляризации под различными углами
Фильтр
λ = 400…480 нм, Ts < 0,05%
λ = 557…587 нм, Ts > 99,1%
λ = 680…806 нм, Ts < 0,06%
